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TSMS, SSDAM

SENSOR DATA COLLECTION

TSMS

장비의 센서 데이터를 다채널로 수집하고,
표준 통신 기반으로 상위 시스템과 연계하여
공정 모니터링과 이상 감지에 필요한
데이터 기반을 제공합니다.

최대 40채널
입력 지원 0.1초 통신
속도
TSMS 장비 이미지 1 TSMS 장비 이미지 2
Multi-channel Sensor Data
BEFORE & AFTER

기존 운영 환경 vs 도입 후 변화

센서별 개별 구성에서 다채널 통합 구조로 전환합니다.

BEFORE

기존 운영 환경

센서 수집장치
센서 수집장치
센서 수집장치
센서 수집장치
  • 개별 연결 구조 센서별 개별 연결로 구성되어 복잡도 증가
  • 설치 공간 부담 배선, 수집 장치 증가로 장비 주변 공간 부족
  • 관리 포인트 분산 센서별 수집 구성이 분산되어 유지보수 부담
  • PC / OS 의존 구조 운영 안정성 관리 필요
AFTER

도입 후 변화

센서
센서
센서
센서
다채널 통합 수집장치
  • 다채널 통합 수집여러 센서 데이터를 하나의 모듈에서 수집
  • 설치 구성 간소화인터페이스 구성을 단순화
  • 통신 구조 일원화수집 구조를 모듈 중심으로 통합
  • 자체 개발 OS안정적인 현장 운영 지원
DATA FLOW

센서 데이터 수집부터 이상 감지까지

데이터 수집 → TSMS → FDC의 흐름으로 공정 데이터를 연결합니다.

01

데이터 수집

장비 기본 SETUP 센서
추가 센서

온도 / 진동 / 압력 / RF 등
다양한 데이터 소스

최대 40Ch
02

TSMS

실시간 모니터링
  • 실시간 Trace 수집
  • Recipe Step Alignment
  • 신호 전처리 / 정규화
  • Data Quality 검증
Fault Detection
  • Rule 기반 이상 감지
  • 다중 조건 감시
  • Threshold / Trend / Rate 감지
  • 이상 징후 실시간 알림
03

FDC

Data collector 고속 수집 / 버퍼링
Real-time Engine 실시간 처리 / 감시
KEY BENEFITS

TSMS가 제공하는 핵심 가치

01

이상감지 포인트
확장

하나의 장비에서 확인하고 싶은 온도, 압력, 진동, 위치 등 여러 센서 포인트를 다채널로 연결하여 확인

02

도입·운영 비용
절감

단일 모듈에서 최대 40개 채널을 지원하여 센서별 개별 장치 구성을 줄이고, 설치·배선·유지보수 비용 절감

03

실시간 데이터
신뢰성 향상

0.1초 단위 데이터 통신을 통해 공정 상태 변화를 빠르게 확인하고 이상감지에 필요한 데이터의 연속성과 신뢰성 향상

04

구성 유연성 및
장기 사용성

기존에 연결되어 있던 센서와 신규 추가 센서 모두 연계 가능하며, 반영구적 사용 구조로 장기간 안정적인 운영을 지원

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