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FDC Dashboard Overview
FAULT DETECTION
FDC
(Fault Detection and Classification)
장비·센서·공정 데이터를 실시간으로 모니터링하여
이상 상태를 감지·분류하는 시스템
FDC CORE FUNCTIONS
실시간 데이터에서 이상 감지·분류까지
수집된 장비·센서·공정 데이터를 실시간으로 처리하고 현장 대응에 필요한 정보를 제공합니다.
실시간 데이터 수집
- • 설비·PLC·센서·계측기·Event/Log 데이터 수집
- • 시계열 데이터 기반 모니터링 환경 구성
공정 모니터링
- • 주요 파라미터 변화와 장비 상태 실시간 확인
- • Trace, Trend, Event 상태 가시화
Rule 기반 이상감지
- • Threshold, UCL/LCL, Trend 기준 감지
- • 이상 발생 시 알람 및 이벤트 생성
Fault Classification
- • 감지된 이상 상태 유형별 분류
- • 알람 이력과 함께 조회 및 관리
FDC PROCESS
FDC의 핵심기능
1
실시간 모니터링
• 실시간 Trace 수집
• Recipe Step 확인
• Data Quality 확인
2
Fault Detection
• Rule 기반 이상 감지
• Threshold / UCL·LCL 감시
• Trend / Rate 변화 감지
3
Fault Classification
• 이상 유형 분류
• 관리 기준 기반 분류
• 알람 연계
4
이력·가시화
• Trend Chart
• Dashboard
• Alarm History
• Event 이력
신뢰성
안정적인 수집과 처리로 지속적인 운영 지원
표준 연계
SECS/GEM 및 다양한 인터페이스 지원
유연한 구성
설비·공정 환경에 맞춘 Rule 및 알람 설정
효율적인 운영
실시간 모니터링과 이력 제공으로 현장 대응 효율 향상
YMS Dashboard Overview
YIELD MANAGEMENT
YMS
(Yield Management System)
수율 현황과 불량 데이터를 관리하고
품질 추적과 공정 개선을 지원하는
수율 관리 시스템
KEY FUNCTIONS
YMS의 핵심 관리 영역
검사 데이터부터 수율, 불량, 품질 이력까지 하나의 흐름으로 관리합니다.
1. 검사 데이터 수집
- • 검사 장비, 측정 결과, Defect / Bin 데이터 수집
- • Wafer, Lot, Recipe 등 관련 정보 연계
- • 다양한 소스 데이터 통합
2. 수율 현황 관리
- • 제품, Lot, Wafer 단위 수율 현황 확인
- • 목표 수율 대비 결과 관리
- • 수율 변화 추이 확인
3. 불량 데이터 관리
- • 불량 유형(Defect) 분류
- • 불량 발생 위치 관리 (Wafer Map)
- • 불량 빈도 및 패턴 분석
4. 품질 이력 조회
- • Wafer / Lot 단위 검사 이력 조회
- • 공정 이력과 검사 이력 연계
- • 품질 상태 및 불량 이력 추적
YMS PROCESS
YMS의 핵심 기능
1
데이터 정합
• 검사·공정·Lot 데이터 기준 정보 매칭
• 데이터 검증 및 정합성 관리
2
수율 집계
• 제품, Lot, Wafer 단위 수율 계산
• 수율 집계 및 통계 관리
3
불량 분류
• Defect, Bin, Fail 데이터 유형별 분류
• 불량 발생 위치/빈도 관리
4
이력 추적
• Wafer/Lot 기준 검사 이력 조회
• 공정 이력 연계 조회
• 품질 데이터 추적
수율 가시성 확보
제품·Lot·공정별 수율 흐름을 체계적으로 확인
품질 추적성 강화
Wafer와 Lot 기준으로 검사·공정 이력을 연결하여 품질 이력 추적
불량 관리 체계화
불량 유형, 위치, 빈도 데이터를 기반으로 반복 불량을 효과적으로 관리
공정 개선 데이터 확보
수율과 불량 데이터를 기반으로 개선이 필요한 공정 구간을 확인하고 개선 지원